飞秒激光微加工技术

    飞秒激光可以将其能量全部、快速、准确地集中在限定的作用区域,实现对玻璃、陶瓷、半导体、聚合物等材料的微纳尺寸加工,具有其他激光加工无法比拟的优势:
    (1)无热熔区,“冷加工”;
    (2)可加工材料广泛,从金属到非金属再到生物细胞组织;
    (3)高精度、高质量、高分辨率,加工区域可小于焦斑尺寸,突破衍射极限。
    实验室已开发出基于钛宝石激光器的飞秒激光微加工系统,可实现微米级三维复杂图形的精细加工,我们的研究兴趣是飞秒激光微加工与光纤器件的交叉学科研究,例如:光纤微流传感器、光纤光栅、光纤内腔干涉仪等。